特 長
- 具備節儉空間/高精度/廉價格之特色，處置速率可達 0.4s/pcs以下。
（※以SMD3.2×2.5 24MHz H1000ppm/s L50ppm/s為例） - 裝載了新型高功效離子槍（離子束寬度：100mm），可同時處置24～32個工件（規范設置裝備擺設）
- 接納了高精度/高不變性/高再現性的搬送機構，可不變出產 2.0×1.6以下的細小工件。
- 裝有FL（負載電容主動演算）功效。
- 離子槍、測試板機構（Contact）之保護機能獲得大幅度進步。
- 接納分開型兩室主動收支體例，可以使微調室常常堅持在真空狀況。
出產效力不受真空室抽氣氣餒時辰的影響。 - 可按照須要選購裝備有電洗濯（Over Drive）功效的上料下料機構（Loader/Un-loader），則可以使裝備持續運行。
規格簡介
- 可對應工件
- 晶體元器件，晶體振蕩器 (3225,2520,2016,1612,1210)
音叉型振蕩器 (4115,3215,2016) - 裝備布局
- 2室（豫備室、微調室） 主動來回
- 搬送體系
- 單軸 Ｘ標的目的
- 排氣體系
- 8英寸TMP
- 離子源
- 100mm寬離子束矩形型 1套 → 24束(4mm 距離)
- 丈量器
- 收集闡發儀/頻次計數器 4臺 (6工件/1臺)
- 微調工段
- 1～4段（H，M，L，LL）
※裝備規格/表面可改進或變革。
※本產物有外匯和計謀物質按照國際商業辦理體例的劃定相稱出口限定物品的環境。 因此在把符合合品拿到日本外洋的時辰拿到日本國當局的出口允許請求須要的手續。
